Первую российскую установку для выпуска 350-нанометровых чипов планируют передать заказчику уже в декабре 2026 года
Первый серийный литограф
Установку разработал Зеленоградский нанотехнологический центр совместно с белорусской компанией «Планар». Машина предназначена для производства микросхем по нормам 350 нм, которые востребованы в силовой и автомобильной электронике, а также промышленном оборудовании.
Возможности установки
Литограф поддерживает пластины диаметром до 200 мм и использует твердотельный лазер вместо традиционной ртутной лампы. Рабочее поле составляет 22 × 22 мм. Производительность достигает 63 пластин диаметром 150 мм в час или до 43 пластин при работе с 200-миллиметровыми пластинами.
Сколько стоит
Базовая версия установки оценивается в 392 млн рублей без НДС. Вариант с расширенным сервисным обслуживанием и дополнительной пятилетней гарантией обойдётся в 561 млн рублей. При этом сопоставимые зарубежные системы могут стоить на 40–60% дороже.
Первым получателем станет «Маппер»
Первый серийный литограф планируют передать московской компании «Маппер», которая занимается контрактным производством кремниевых компонентов по технологии МЭМС. Предприятие располагает собственными чистыми помещениями и выпускает тысячи пластин в год.
Следующий этап — 130 нм
После запуска 350-нанометровой машины разработчики намерены перейти к более современному литографу с разрешением 130 нм. Опытный образец уже анонсировали, а начало серийных поставок таких установок планируется на 2027 год.
Важный шаг для микроэлектроники
Появление серийных отечественных литографов должно снизить зависимость производителей от зарубежного оборудования и создать собственную технологическую базу для выпуска широкого спектра электронных компонентов.Как думаете, сможет ли Россия со временем выйти на ещё более современные нормы производства чипов?
