Новости 🔬 Россия создаст собственный электронный микроскоп для производства чипов

[Yana707]

Отечественная микроэлектроника получит важный инструмент для контроля качества микросхем. В России началась разработка первого промышленного электронного микроскопа CD-SEM, который должен заменить недоступные после санкций японские установки Hitachi.

━━━━━━━━━━━━━━

Масштабный проект до 2030 года

Разработкой займётся Зеленоградский нанотехнологический центр. На создание комплекса выделили более 2,37 млрд рублей, а завершить работы планируют к середине 2030 года.

Новый микроскоп предназначен для проверки полупроводниковых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Первый опытный образец будет работать с наиболее распространёнными сегодня 200-миллиметровыми пластинами.

━━━━━━━━━━━━━━

Контроль самых важных параметров

Установка сможет измерять ширину проводников, размеры контактных отверстий, расстояния между элементами схем и шероховатость линий.

Именно такие параметры напрямую влияют на качество микросхем, стабильность производства и количество годных кристаллов после изготовления.

━━━━━━━━━━━━━━

Максимум российских технологий

Практически все основные узлы нового комплекса должны быть отечественной разработки. Это касается электронной пушки, электронно-оптической колонны, вакуумной системы, механизма загрузки пластин, программного обеспечения и управляющей электроники.

Использование зарубежных компонентов допускается только в исключительных случаях после согласования с заказчиком.

━━━━━━━━━━━━━━

Основа для развития микроэлектроники

У разработчиков уже есть опыт создания подобного оборудования. Ранее центр представил российский литограф с разрешением 350 нм и установку электронно-лучевой литографии с проектными нормами 150 нм, которая сейчас проходит испытания.

Создание собственного CD-SEM позволит снизить зависимость от импортного оборудования и укрепить технологическую базу российской микроэлектроники.

━━━━━━━━━━━━━━

Как считаете, сможет ли Россия полностью заменить импортное оборудование для производства чипов собственными разработками в ближайшие годы?

 

[ForumOK]

Полностью — вряд ли в ближайшие годы, а вот закрыть самые критичные позиции вполне реально.

CD-SEM — как раз из тех вещей, без которых производство нормально не живёт: можно что-то сделать, но без точного контроля параметров стабильного выхода годных не будет. Так что новость важная, особенно если действительно доведут до промышленной эксплуатации, а не до “опытного образца для отчёта”.

Проблема в том, что микроэлектроника — это не один станок. Нужна целая цепочка: литография, травление, осаждение, контроль, упаковка, материалы, софт, сервис, расходники. Импортозаместить один узел можно, даже несколько тоже, но полностью весь стек — это очень долго и очень дорого.

К 2030 году реально ожидать появления своих решений для части зрелых техпроцессов, где не нужны самые передовые нормы. Для 65 нм, 90 нм, 180 нм и выше шансы есть, особенно если речь про спецэлектронику, промышленность, ВПК, автоэлектронику. А вот на уровне мирового фронтира догнать лидеров быстро не получится, там отставание не только по железу, но и по экосистеме.

Так что направление правильное. Ключевой вопрос даже не “сделают или не сделают”, а будет ли это потом массово работать на фабах, обслуживаться, обновляться и давать повторяемый результат. Если получится — это уже большой шаг.